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氧气的物理性质:
通常情况下,氧气是一种无色无味的气体,其密度比空气密度略大,不易溶于水。在一定条件下,可液化成淡蓝色液体或固化成淡蓝色固体。河水、海水中的鱼虾等能生存,说明自然界的水中溶有氧气。
氧气是一种无色无味气体。熔点-218.4℃,沸点-183℃。不易溶于水。常温下不很活泼。但在高温下则很活泼,能与多种元素直接化合。液态氧呈淡蓝色,由于它的低温特性,液氧会使其接触的物质变得脆弱。
特种气体配送、近年来,随着下游应用领域的逐步扩展,特种气体的品种也与日俱增,据不完全统计,现有单元特种气体达260种左右,特种气体已成为高科技应用领域不可缺少的基本原料。特种单一气体有260种,其中电子气体114种(实际常用的约44种),有机气体65种,无机气体35种,卤碳素气体29种,同位素气体17种。
特种气体配送、特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。同时,以类存在交叉,例如(SiCl4)既属于硅系气体,又属于外延气体,同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
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